EE-SPY801/802 晶圆片托架落座传感器
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晶圆片托架落座传感器

EE-SPY801/802

薄片载体的落座检测

依靠与导槽并用，设定落座位置。

晶圆片托架的接触面使用了氟素树脂。防化学性能优越。

在独特的光学结构，几乎可稳定检测所有晶圆片托架。

采用强抗外部干扰光的变调光方式。

电线使用净化电线(无粉尘)。

EE-SPY801

EE-SPY802

EE9-C01

EE9-C02

EE-SPY301

EE-SPY302

EE-SPY311

EE-SPY312

EE-SPY401

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EE-SPY801

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EE-SPZ301-A

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EE-SV3

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EE-SX1018

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EE-SX1055 S1

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EE-SX1070

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EE-SX1071-RANKB

EE-SX1080

EE-SX1081

EE-SX1088

EE-SX1094(Q)

EE-SX1096

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EE-SX1106

EE-SX1107

EE-SX1108

EE-SX1109

EE-SX1115

EE-SX1115-A

EE-SX1128

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EE-SX1235A-P1

EE-SX1235A-P1 S1

EE-SX1235A-P2

EE-SX1235A-P2 S2

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EE-SX129

EE-SX138

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EE-SX3070

EE-SX3081

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EE-SX398

EE-SX398 S1

EE-SX4009-P1

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EE-SX401

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EE-SX4015-P3

EE-SX4015-P3-S30

EE-SX4015-P5

EE-SX4019-P2

EE-SX405

EE-SX4070

EE-SX4081

EE-SX4088

EE-SX4134

EE-SX4134-1

EE-SX416-P1

EE-SX4235A-P1

EE-SX4235A-P1-S1

EE-SX4235A-P2

EE-SX4235A-P2-S1

EE-SX4238-P2

EE-SX4238-P2 CHN

EE-SX4238-P4 CHN

EE-SX460-P1

EE-SX460-P12(Q)

EE-SX470

EE-SX470P

EE-SX471

EE-SX471P

EE-SX472

EE-SX472P

EE-SX473

EE-SX473P

EE-SX474

EE-SX474P

EE-SX484

EE-SX493

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EE-SX670

EE-SX670A

EE-SX670B

EE-SX670-C1J-R 0.1M

EE-SX670P

EE-SX670P-WR 1M

EE-SX670R

EE-SX670-WR 1M

EE-SX671

EE-SX671A

EE-SX671-C1J-R 0.1M

EE-SX671P

EE-SX671P-C1J-R 0.1M

EE-SX671P-WR 1M